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申请/专利权人：华为技术有限公司
申请日：2022-07-30
公开（公告）日：2025-01-21
公开（公告）号：CN119343868A
专利技术分类：..具有单个谐振器（晶体调谐音叉入H03H9/21）[2006.01]
专利摘要：一种声波谐振器器件1，包括衬底2和LN膜等压电层3，所述压电层3夹在浮动电位底部电极6和施加RF电压的一对顶部电极7之间，其中，多个基座8周期性地布置在所述压电层3和所述衬底2之间，以提供机械稳定性和散热。所述基座8可以布置为与所述压电层3的声波振幅的节点12对齐，以尽可能减少通过基座8泄漏的声能，所述节点12位于所述顶部电极之间的区域中。所述衬底2可以包括金刚石等高声波速度和高热导率的第一衬底层15，所述第一衬底层15支撑在由晶圆材料制成的第二衬底层16。
专利权项：1.一种声波谐振器器件1，其特征在于，包括：衬底2；压电层3，包括底面4和顶面5，底部电极6，设置在所述底面4上，至少一对顶部电极7，设置在所述顶面5上；多个基座8，布置在所述底部电极6和所述衬底2之间，以在所述压电层3和所述衬底2之间提供间隔。
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