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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日：2024-09-13
公开（公告）日：2025-01-24
公开（公告）号：CN119354829A
专利技术分类：
专利摘要：本发明公开了一种用于光机系统使役过程产生粒子检测装置及方法。涉及光机系统洁净性能检测技术领域，该装置包括采样承载部，其设置于光机系统正下方，用于承载光机系统使役过程沉降的粒子；检测部用于对所述采样承载部上的粒子数量和尺寸进行检测。本发明用于光机系统使役过程产生粒子在线检测的装置的检测方法，能够检测光机系统使役过程中产生的沉降粒子，便于评估光机系统洁净性能。
专利权项：1.一种用于光机系统使役过程产生粒子检测装置，其特征在于：包括：采样承载部，其设置于光机系统正下方，用于承载光机系统使役过程沉降的粒子；检测部，用于对所述采样承载部上的粒子数量和尺寸进行检测。
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种用于光机系统使役过程产生粒子检测装置及方法
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