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申请/专利权人：浙江摩克激光智能装备有限公司
申请日：2024-12-30
公开（公告）日：2025-01-28
公开（公告）号：CN119368913A
专利技术分类：...通过光学元件装置的,例如透镜,反射镜,棱镜[2014.01]
专利摘要：本发明公开了一种检测曲面激光加工光路装置及方法，可实现在三维运动平台移动过程中光路始终进入三维振镜单元；并结合激光位移传感器实现曲面加工过程中的激光焦点识别功能，及时调整Z轴移动机构；此外，本发明采用激光诱导击穿光谱技术，实时分析光谱信息变化，检测加工元件表面质量，并反馈信号至压电偏转模块，补偿系统运动对光束的扰动，提升曲面加工效率与质量。
专利权项：1.一种检测曲面激光加工光路装置，其特征在于，包括：第一移动平台17，所述第一移动平台17用于承接元件19并带动元件19Y轴移动；第二移动平台10，所述第二移动平台10上安装有振镜加工头模块，所述第二移动平台10用于带动振镜加工模块进行Z轴移动；第三移动平台8，所述第三移动平台8与第二移动平台10连接并用于带动第二移动平台10X轴移动；激光束整形传输模块，所述激光束整形传输模块包括激光器1和压电偏转镜7，所述激光器1用于发出皮秒脉冲激光，所述压电偏转镜7对应振镜加工头模块上方设置并与第三移动平台8固定，所述激光器1与压电偏转镜7之间形成第一光路，所述第一光路与第三移动平台8移动方向平行，所述压电偏转镜7和振镜加工头模块之间形成第二光路，所述第二光路与第二移动平台10移动方向平行；所述振镜加工头模块上设有激光位移传感器25，所述激光位移传感器25用于对元件19加工表面进行探测。
百度查询： 浙江摩克激光智能装备有限公司 一种检测曲面激光加工光路装置及方法
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