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申请/专利权人：浙江日久新材料科技有限公司
申请日：2024-11-19
公开（公告）日：2025-02-21
公开（公告）号：CN119491190A
专利技术分类：..氧化物（C23C14/10优先）[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种高反射柔性薄膜、透性组件、视窗组件及组合体，其中薄膜，包括基材；基材层双面的上底涂层和下底涂层；上底涂层和下底涂层上分别设的上IM层和下IM层；上IM层上以磁控镀膜溅射顺次形成打底层、第一氧化铌层、二氧化硅层、第二氧化铌层、氧化锡层、混合靶层、氧化钛层、ITO层或SIO层，磁控镀膜溅射的气氛为氩、氮、氧混合气氛，镀制过程中该气氛满足：稀有气体与氮气的分压始终保持一致，且满足P稀有气体：P氮气＝1.7‑4：1；以及氧气分压是随镀层数量增加而降低的，满足P氧气：P氮气＝0.14‑0.5：1。
专利权项：1.一种高反射柔性薄膜，包括基材；基材层双面的上底涂层和下底涂层；上底涂层和下底涂层上分别设的上IM层和下IM层；上IM层上以磁控镀膜溅射顺次形成打底层、第一氧化铌层、二氧化硅层、第二氧化铌层、氧化锡层、混合靶层、氧化钛层、ITO层或SIO层，其特征在于，所述磁控镀膜溅射的气氛为氩、氮、氧混合气氛，镀制过程中该气氛满足：稀有气体与氮气的分压始终保持一致，且满足P稀有气体：P氮气＝1.7-4：1；以及氧气分压是随镀层数量增加而降低的，满足P氧气：P氮气＝0.14-0.5：1。
百度查询： 浙江日久新材料科技有限公司 高反射柔性薄膜、透性组件、视窗组件及组合体
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