买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于减少基板处理夹盘冷凝的气流获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113363189B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110723961.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于减少基板处理夹盘冷凝的气流是由H·S·金;M·D·威尔沃斯设计研发完成，并于2016-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于减少基板处理夹盘冷凝的气流在说明书摘要公布了：描述一种气流，用于减少基板处理夹盘的冷凝。在一示例中，该腔室中的工件支架具有定位盘、上板、冷却板、底板、以及该底板的干燥气体入口，该定位盘用于携载该工件以进行制造处理，该上板热耦接至该定位盘，该冷却板紧固至并热耦接至该上板，该冷却板具有冷却通道以携载热传递流体从而传递来自该冷却板的热，该底板与该定位盘相对地紧固至该冷却板，而该底板的干燥气体入口用以在压力下供应干燥气体至该底板与该冷却板之间的空间从而驱动来自该底板与该冷却板之间的环境空气。

本发明授权用于减少基板处理夹盘冷凝的气流在权利要求书中公布了：1.一种设备，包括：定位盘，用于携载工件以进行制造处理；上板，其热耦接至所述定位盘；冷却板，其紧固至所述上板并且热耦接至所述上板；底板，其与所述定位盘相对地紧固至所述冷却板；以及所述底板的干燥气体出口，用于在压力下将干燥气体供应至所述底板与所述冷却板之间的空间，所述干燥气体出口定位在所述底板的中心轴和周边之间，其中所述底板具有沟槽，所述沟槽被配置为允许所述干燥气体流动到所述底板与所述冷却板之间的所述空间，所述沟槽具有从所述干燥气体出口到所述中心轴的路径；以及圆柱贯孔，所述圆柱贯孔通过所述冷却板以允许所述干燥气体在所述底板与所述上板之间流动，所述圆柱贯孔被定位为使得所述沟槽引导所述干燥气体流动到所述圆柱贯孔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。