苏州大学刘会聪获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种MEMS三维力传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117906801B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410093704.1，技术领域涉及：G01L1/22；该发明授权一种MEMS三维力传感器及其制备方法是由刘会聪;李澳门;李东升;孙雨阳设计研发完成，并于2024-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS三维力传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种MEMS三维力传感器及其制备方法，其中MEMS三维力传感器包括：弹性层，包括表层、液态金属层和第一基底；液态金属层设于表层和第一基底之间，且液态金属层设有电阻丝；其中，通过控制液态金属层的相态，进而控制弹性层的杨氏模量；力传递层，包括与第一基底贴合的第二基底，第二基底设有多个微触点单元；电阻丝与第二基底连接；力敏感层，包括与第二基底贴合的第三基底，第三基底设有多个悬臂梁；其中，多个悬臂梁至少和部分微触点单元相对设置。本发明能够根据需求进行自由调整，以适应不同的力测量范围和精度需求。
本发明授权一种MEMS三维力传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS三维力传感器，其特征在于，包括：弹性层100，包括表层101、液态金属层102和第一基底104；所述液态金属层102设于所述表层101和所述第一基底104之间，且所述液态金属层102设有电阻丝103；其中，通过控制所述液态金属层102的相态，进而控制所述弹性层100的杨氏模量；力传递层200，包括与所述第一基底104贴合的第二基底201，所述第二基底201设有多个微触点单元202；并且，所述电阻丝103沿第一方向延伸与所述第二基底201连接；力敏感层300，包括与所述第二基底201贴合的第三基底301，所述第三基底301设有多个悬臂梁302；其中，多个所述悬臂梁302至少和部分所述微触点单元202相对设置；当外力施加于具有不同杨氏模量的所述弹性层100时，杨氏模量高的所述弹性层100产生的形变相对较小，进而向所述力敏感层300传递的相变较小，使所述力敏感层300产生较小信号输出。
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