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恭喜青岛华芯晶电科技有限公司肖迪获国家专利权

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龙图腾网恭喜青岛华芯晶电科技有限公司申请的专利基于反馈分析的蓝宝石晶棒切割过程监控方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119376341B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411942234.8,技术领域涉及:G05B19/416;该发明授权基于反馈分析的蓝宝石晶棒切割过程监控方法是由肖迪;戴磊;李亚平;纪双涛设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

基于反馈分析的蓝宝石晶棒切割过程监控方法在说明书摘要公布了:本申请涉及生产过程监控技术领域,尤其涉及基于反馈分析的蓝宝石晶棒切割过程监控方法,该方法的步骤包括:S1:获取蓝宝石晶棒切割过程中的切割深度数据、锯丝运行数据和晶棒进给数据;S2:分析切割过程中对称切割深度的进给速度一致性和锯丝速度一致性;S3:分析切割过程中锯丝振动与晶棒进给的方向一致性;S4:基于步骤S2和步骤S3的一致性分析结果评估切割过程的稳定性并进行切割稳定性告警。本申请通过量化分析对称切割深度的晶棒进给速度一致性和锯丝速度一致性以及切割过程中锯丝振动与晶棒进给的方向一致性,并基于一致性分析结果构建切割稳定性告警机制,有效提升了晶棒切割稳定性和切割效率。

本发明授权基于反馈分析的蓝宝石晶棒切割过程监控方法在权利要求书中公布了:1.基于反馈分析的蓝宝石晶棒切割过程监控方法,其特征在于,包括下述步骤:S1:获取蓝宝石晶棒切割过程中的切割深度数据、锯丝运行数据和晶棒进给数据;S2:分析切割过程中对称切割深度的进给速度一致性和锯丝速度一致性;S3:分析切割过程中锯丝振动与晶棒进给的方向一致性;S4:基于步骤S2和步骤S3的一致性分析结果评估切割过程的稳定性并进行切割稳定性告警;分析所述步骤S2中进给速度一致性的具体步骤包括:S21:获取切割深度数据和晶棒进给数据,晶棒进给数据包含晶棒进给速度数据和晶棒进给方向数据;S22:根据切割深度数据确定晶棒的对称切割深度,其中,,和表示第组对称切割深度,表示晶棒横截面直径;S23:将每一组对称切割深度结合晶棒进给数据,提取对称切割深度对应的晶棒进给速度和,表示切割深度处的晶棒进给速度,表示切割深度处的晶棒进给速度;S24:根据晶棒进给速度数据计算进给速度一致性指数,进给速度一致性指数用于评估切割过程中对称切割深度处的进给速度一致性,进给速度一致性指数的计算公式为: ;式中表示切割深度处的晶棒进给速度,表示切割深度处的晶棒进给速度,表示所有切割深度对应的晶棒进给速度均值,表示对称切割深度的组数,表示进给速度一致性指数;分析所述步骤S2中锯丝速度一致性的具体步骤包括:S25:获取切割深度数据和锯丝运行数据,锯丝运行数据包含锯丝速度数据和锯丝振动数据;S26:将每一组对称切割深度结合锯丝运行数据,提取对称切割深度对应的锯丝速度和,表示切割深度处的锯丝速度,表示切割深度处的锯丝速度;S27:根据锯丝速度数据计算锯丝速度一致性指数,锯丝速度一致性指数用于评估切割过程中对称切割深度处的锯丝速度一致性,锯丝速度一致性指数的计算公式为: ;式中表示切割深度处的锯丝速度,表示切割深度处的锯丝速度,表示所有切割深度对应的锯丝速度均值,表示对称切割深度的组数,表示锯丝速度一致性指数;所述步骤S3的具体步骤包括:S31:获取锯丝运行数据和晶棒进给数据,锯丝运行数据包含锯丝速度数据和锯丝振动数据,晶棒进给数据包含晶棒进给速度数据和晶棒进给方向数据;S32:将锯丝振动数据分解的平行于晶棒进给方向水平面的分量作为锯丝振动平行分量,将锯丝振动数据分解的垂直于晶棒进给方向水平面的分量作为锯丝振动垂直分量;S33:根据锯丝振动平行分量和锯丝振动垂直分量计算方向一致性指数,方向一致性指数用于评估切割过程中锯丝振动与晶棒进给的方向一致性,方向一致性指数的计算公式为: ;式中表示时刻的锯丝振动平行分量,表示时刻的锯丝振动垂直分量,表示锯丝振动监测时长,表示方向一致性指数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人青岛华芯晶电科技有限公司,其通讯地址为:266100 山东省青岛市高新区河东路383号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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