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恭喜唐人制造(嘉善)有限公司唐亮获国家专利权

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龙图腾网恭喜唐人制造(嘉善)有限公司申请的专利一种键合装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119381275B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411941958.0,技术领域涉及:H01L21/603;该发明授权一种键合装置是由唐亮;王家鹏;沈会强;庄文波;朱伟设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种键合装置在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体封装设备技术领域,涉及一种键合装置,本发明包括箱体、Z向驱动组件、T向电机、T向抱闸机构、气浮轴承组件、主气浮轴承、机械导轨组件、气弹簧、吸嘴杆和吸嘴;Z向驱动组件包括音圈电机、Z向连接座、光栅尺组件,音圈电机下端连接Z向连接座,光栅尺组件设置于Z向连接座上;T向电机设置于Z向连接座上,T向电机下端连接气弹簧;T向抱闸机构向外吹气使T向抱闸机构与气弹簧上法兰之间形成气膜;气浮轴承组件设置于Z向连接座的两侧;主气浮轴承设置于吸嘴杆上;机械导轨组件设置于Z向连接座后端;吸嘴杆连接气弹簧,吸嘴设置于吸嘴杆的下端,采用机械导轨导向和气浮轴承导向解耦,提高键合精度。

本发明授权一种键合装置在权利要求书中公布了:1.一种键合装置,其特征在于,包括:箱体、Z向驱动组件、恒力弹簧组件、T向电机、抱闸组件、气浮轴承组件、主气浮轴承、机械导轨组件、气弹簧、吸嘴杆和吸嘴;所述箱体包括键合头壳体,所述箱体上设有壳体安装座,壳体安装座一端连接有驱动机构,通过驱动机构带动键合头装置水平移动,所述箱体上设有读数头;所述Z向驱动组件包括音圈电机、Z向连接座和光栅尺组件,所述音圈电机固定于箱体内且下端连接Z向连接座,通过音圈电机驱动Z向连接座移动,所述光栅尺组件设置于Z向连接座上;所述恒力弹簧组件设置于Z向连接座的两侧,通过恒力弹簧组件平衡Z向驱动组件的重量;所述T向电机设置于Z向连接座上,所述T向电机下端连接气弹簧,所述气弹簧上端连接有气弹簧上法兰;所述抱闸组件包括X向抱闸一、X向抱闸二和T向抱闸机构,所述X向抱闸一与X向抱闸二设置于箱体的两侧,所述T向抱闸机构连接有T向抱闸接头,通过T向抱闸接头对T向抱闸机构内部通入真空或者大气,所述T向抱闸机构向外吹气使T向抱闸机构与气弹簧上法兰之间形成气膜,允许T向电机自由旋转;所述气浮轴承组件设置于Z向连接座的两侧,所述气浮轴承组件提供气浮气体使T向抱闸机构在Z向进行无摩擦的运动;所述主气浮轴承设置于吸嘴杆上;所述机械导轨组件设置于Z向连接座后端;所述吸嘴杆连接气弹簧,所述吸嘴设置于吸嘴杆的下端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人唐人制造(嘉善)有限公司,其通讯地址为:314112 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路99号3号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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