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龙图腾网恭喜上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利反射镜调节装置及运动台定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119224967B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411755429.1，技术领域涉及：G02B7/182；该发明授权反射镜调节装置及运动台定位装置是由周羽;陈啸虎;江旭初;吴火亮;陈守俊设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本反射镜调节装置及运动台定位装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种反射镜调节装置及运动台定位装置，其中，反射镜调节装置包括支架座、第一柔性件、第一调整组件、第二柔性件、第二调整组件和反射镜。本申请的反射镜调节装置，借助第一调整组件对第一柔性件的调整作用，借助第二调整组件对第二柔性件的调整作用，至少实现了反射镜沿n方向位移量以及沿Rm方向旋转量的多自由度微量且精确的调整，也即至少实现了反射镜相对激光干涉仪的距离及角度的微量精确调整。本申请反射镜调节装置能够实现对反射镜位姿的多自由度微量精确调整，有助于解决反射镜在高加减速下保持自身姿态以及激光热源导致的反射镜热变形问题，提升反射镜的位姿准确度，保证激光干涉仪测量时不丢光，提高运动台定位精度。

本发明授权反射镜调节装置及运动台定位装置在权利要求书中公布了：1.一种反射镜调节装置，其特征在于，包括：支架座（1），包括第一端和第二端，第一端至第二端之间设置安装面；定义所述支架座（1）的延伸方向为m方向，垂直于m方向且平行于所述支架座（1）安装面的方向为n方向，垂直于安装面的方向为z方向，围绕m方向轴线旋转的方向为Rm方向，围绕n方向轴线旋转的方向为Rn方向，围绕z方向轴线旋转的方向为Rz方向；第一柔性件（2），安装于所述支架座（1）的安装面并靠近第一端；所述第一柔性件（2）具有相对所述支架座（1）发生沿Rm方向运动的柔性以及沿n方向运动的柔性；第一调整组件（3），安装在所述第一柔性件（2）上，用于调整所述第一柔性件（2）沿n方向的位移量及沿Rm方向的旋转量；第二柔性件（4），安装于所述支架座（1）的安装面并靠近第二端；所述第二柔性件（4）具有相对所述支架座（1）发生沿Rm方向运动的柔性；第二调整组件（5），安装在所述第二柔性件（4）上，用于调整所述第二柔性件（4）沿Rm方向的旋转量；反射镜（6），呈条形结构，其一端安装于所述第一柔性件（2），另一端安装于所述第二柔性件（4），所述反射镜（6）的反射面沿m方向延伸；所述第一柔性件（2）包括外框（21）、A基板（22）、A支撑板（23）、A1柔性连接结构（24）、A2柔性连接结构（25）；所述外框（21）安装在所述支架座（1）的安装面上，所述A基板（22）置于所述外框（21）内侧，所述A基板（22）沿m方向的一端通过所述A1柔性连接结构（24）连接所述外框（21）内侧，所述A支撑板（23）处于所述A基板（22）上侧，且所述A支撑板（23）的底面中部位置通过所述A2柔性连接结构（25）连接至所述A基板（22）上表面的中部位置；其中，所述A1柔性连接结构（24）使所述A基板（22）具有相对所述外框（21）发生沿n方向运动的柔性，所述A2柔性连接结构（25）使所述A支撑板（23）具有相对所述A基板（22）发生Rm方向运动的柔性；所述第一调整组件（3）包括两个A1顶持件（31）和两个A2顶持件（32）；在所述A基板（22）的n方向两侧对应的所述外框（21）上分别安装一所述A1顶持件（31），且所述A1顶持件（31）可沿n方向进行进给运动，两个所述A1顶持件（31）分别顶持在所述A基板（22）的n方向的两侧壁；两个所述A2顶持件（32）沿z方向从背离A支撑板（23）的一侧穿过所述A基板（22），且两个所述A2顶持件（32）可沿z方向进行进给运动，并顶持在所述A支撑板（23）底面上，两个所述A2顶持件（32）处于所述A2柔性连接结构（25）沿n方向的两侧；所述第二柔性件（4）包括B基板（41）、B支撑板（42）、B柔性连接结构（43）；所述B基板（41）安装在所述支架座（1）的安装面上，所述B支撑板（42）处于所述B基板（41）上侧，且所述B支撑板（42）的底面中部位置通过所述B柔性连接结构（43）连接至所述B基板（41）上表面的中部位置；其中，所述B柔性连接结构（43）使所述B支撑板（42）具有相对所述B基板（41）发生Rm方向运动的柔性；所述第二调整组件（5）包括两个B顶持件（51）；两个所述B顶持件（51）沿z方向从背离B支撑板（42）的一侧穿过所述B基板（41），且两个所述B顶持件（51）可沿z方向进行进给运动，并顶持在所述B支撑板（42）底面上，两个所述B顶持件（51）处于所述B柔性连接结构（43）沿n方向的两侧。

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