恭喜无锡诚承电子科技有限公司方明江获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡诚承电子科技有限公司申请的专利一种离子束定向流优化绝缘导向件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222690629U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420571382.2，技术领域涉及：H01J37/21；该实用新型一种离子束定向流优化绝缘导向件是由方明江;蔡成振设计研发完成，并于2024-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子束定向流优化绝缘导向件在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体加工技术领域，尤其涉及一种离子束定向流优化绝缘导向件，对接于离子注入机的离子束出口，包括绝缘防辐壳体及设于绝缘防辐壳体内用于定向离子束的导向通道，所述绝缘防辐壳体内还嵌设有偶数个电极板及与各电极板进行电连接用于可独立调节各电极板间电压差的多路控制模块，各所述电极板呈阵列环绕导向通道；本实用新型通过将导向通道对接离子注入机的离子束出口，再通过多路控制模块来独立精确控制导向通道周侧各电极板间电压差，以实现对离子束的高效定向和精准聚焦。且绝缘防辐壳体其可有效反射或减弱由离子束在导向过程中可能泄漏的辐射，维持设备安全性。
本实用新型一种离子束定向流优化绝缘导向件在权利要求书中公布了：1.一种离子束定向流优化绝缘导向件，对接于离子源的离子束出口，其特征在于，包括绝缘防辐壳体及设于绝缘防辐壳体内用于定向离子束的导向通道，所述绝缘防辐壳体内还嵌设有偶数个电极板及与各电极板进行电连接用于可独立调节各电极板间电压差的多路控制模块，各所述电极板呈阵列环绕导向通道。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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