买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜杭州海康机器人股份有限公司申请的专利位置校准方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119340231B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411856556.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权位置校准方法、装置、设备及存储介质是由朱松;尹昌顺设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本位置校准方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种位置校准方法、装置、设备及存储介质，涉及机器视觉技术领域，至少用于改善对晶圆进行校准时精度较低的问题。该方法包括：获取多个转台旋转角度各自对应的旋转后采样点的位置信息；根据多个转台旋转角度，以及各个旋转后采样点的位置信息，确定目标距离和目标角度；目标距离用于表示待校准晶圆的圆心与转台旋转中心之间的距离；目标角度用于表示待校准晶圆的圆心和转台旋转中心之间的连线，与初始采样点和转台旋转中心之间的连线的夹角；根据目标距离和目标角度，确定待校准晶圆的圆心相对于转台旋转中心的位置偏差信息，以基于位置偏差信息进行校准，使得待校准晶圆的圆心与转台旋转中心重合。

本发明授权位置校准方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种位置校准方法，其特征在于，包括：获取多个转台旋转角度各自对应的旋转后采样点的位置信息；所述转台旋转角度用于表示所述旋转后采样点和转台的旋转中心之间的连线，与初始采样点和所述旋转中心之间的连线的夹角；所述初始采样点为置于转台上的待校准晶圆处于初始位置时，所述待校准晶圆的圆弧边上位于面阵相机的采样范围内的点；所述旋转后采样点为所述待校准晶圆处于随所述转台转动所述转台旋转角度后的位置时，所述圆弧边上位于所述采样范围内的点；根据所述多个转台旋转角度，以及各个所述旋转后采样点的位置信息，确定目标距离和目标角度；所述目标距离用于表示所述待校准晶圆的圆心与所述旋转中心之间的距离；所述目标角度用于表示所述待校准晶圆的圆心和所述旋转中心之间的连线，与所述初始采样点和所述旋转中心之间的连线的夹角；根据所述目标距离和所述目标角度，确定所述待校准晶圆的圆心相对于所述旋转中心的位置偏差信息，以基于所述位置偏差信息进行校准，使得所述待校准晶圆的圆心与所述旋转中心重合；获取目标采样图像；所述目标采样图像为所述待校准晶圆随所述转台转动的过程中所述面阵相机采集到的图像，所述目标采样图像中包括所述待校准晶圆的缺口；确定所述待校准晶圆的缺口中目标位置点的位置信息；基于所述位置信息，确定所述目标位置点相对于预设位置点的角度偏差信息，以基于所述角度偏差信息进行校准，使所述目标位置点与所述预设位置点重合；所述角度偏差信息包括所述目标位置点和所述旋转中心之间的连线，与所述预设位置点和所述旋转中心之间的连线的夹角。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州海康机器人股份有限公司，其通讯地址为：310051 浙江省杭州市滨江区丹枫路399号2号楼B楼304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。