恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司王亨获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利电极馈入装置和化学沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115710697B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211401702.1，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权电极馈入装置和化学沉积设备是由王亨;廖宝臣;张良俊;李挺设计研发完成，并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本电极馈入装置和化学沉积设备在说明书摘要公布了：本申请公开了电极馈入装置和化学沉积设备，电极馈入装置包括电极导杆、电极块和载片舟。电极块设置于电极导杆上。载片舟具有舟脚，舟脚与电极块抵接，以将二者电性连接。其中，电极块和舟脚的至少其中一者设置有阻挡部，用于阻挡工艺气体进入舟脚与电极块之间的缝隙。通过上述方式，本申请能够增强电场的稳定性。
本发明授权电极馈入装置和化学沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种电极馈入装置，其特征在于，包括：电极导杆；电极块，设置于所述电极导杆上；载片舟，所述载片舟具有舟脚，所述舟脚与所述电极块抵接，以将二者电性连接；其中，所述电极块和所述舟脚的至少其中一者设置有阻挡部，用于阻挡工艺气体进入所述舟脚与所述电极块之间的缝隙，所述工艺气体沿着所述载片舟的长度方向通入；所述阻挡部在所述电极块或所述舟脚具有所述阻挡部的表面上的投影占比该表面的20％-75％；所述阻挡部凸出于所述电极块或所述舟脚的高度与所述电极块或所述舟脚的厚度之比为20％-65％。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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