恭喜深圳市金鼎胜光电股份有限公司王洁获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市金鼎胜光电股份有限公司申请的专利半导体晶圆缺陷检测光源配置方法、装置及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119445046B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510047708.0，技术领域涉及：G06V10/14；该发明授权半导体晶圆缺陷检测光源配置方法、装置及设备是由王洁;陈新民;唐建明;张桂英;周正恩设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体晶圆缺陷检测光源配置方法、装置及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及光源配置技术领域，公开了一种半导体晶圆缺陷检测光源配置方法、装置及设备，该方法包括：获取半导体晶圆图像并进行动态图卷积处理和缺陷特征增强，得到增强缺陷特征图；将增强缺陷特征图输入双路深度神经网络进行反射光强计算和图像质量评分，得到缺陷区域的反射光强数据以及图像质量评分数据；获取多个光源的光源输入电流和光强传感器数据，并结合图像质量评分数据对光源角度参数进行识别计算，得到光源初始参数；基于反射光强数据和光源初始参数进行非线性控制，得到光源控制参数；计算多个光源的通道权重并进行差异化处理，得到协同光源配置参数，本发明提升了缺陷检测的准确性和可靠性，降低了光源参数配置的人工调试成本。
本发明授权半导体晶圆缺陷检测光源配置方法、装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆缺陷检测光源配置方法，其特征在于，所述方法包括：获取半导体晶圆图像并进行动态图卷积处理和缺陷特征增强，得到增强缺陷特征图；将所述增强缺陷特征图输入双路深度神经网络进行反射光强计算和图像质量评分，得到缺陷区域的反射光强数据以及图像质量评分数据；获取多个光源的光源输入电流数据和光强传感器数据，并结合所述图像质量评分数据对光源角度参数进行识别计算，得到光源初始参数；基于所述反射光强数据和所述光源初始参数，对光源角度和光源强度进行非线性控制，得到光源控制参数；计算所述多个光源的通道权重，并对所述光源控制参数进行差异化处理，得到协同光源配置参数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市金鼎胜光电股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区石岩街道浪心社区洲石路49号凯欣达科技园厂房一二层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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