恭喜颀谱电子科技(南通)有限公司朱亮亮获国家专利权
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龙图腾网恭喜颀谱电子科技(南通)有限公司申请的专利一种半导体晶圆贴膜载台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222720383U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420614121.4,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种半导体晶圆贴膜载台是由朱亮亮;张涛;熊少龙设计研发完成,并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆贴膜载台在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体晶圆贴膜载台,包括外框,所述外框内部设置有可调节晶圆承载面大小的调节机构,所述调节机构的下端设置有用于防止晶圆移动的吸附机构;本实用新型结构简单,设计合理,通过电机驱动的转动盘和配套的移动承载模块,使得载台能够根据晶圆的尺寸调整承载面积,实现对不同大小晶圆的适应,提升设备的灵活性和生产效率,此外,吸附机构通过主管道向吸附软管均匀分配负压力,确保晶圆在贴膜过程中的平整性,有效防止了局部变形,保证了贴膜质量,此种设计不仅优化了晶圆的处理流程,也为半导体制造业带来了更高的效率和更佳的产品质量。
本实用新型一种半导体晶圆贴膜载台在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆贴膜载台,包括外框(1),其特征在于:所述外框(1)内部设置有可调节晶圆承载面大小的调节机构(2),所述调节机构(2)的下端设置有用于防止晶圆移动的吸附机构(3);所述调节机构(2)包括有:电机(201),所述电机(201)设置在外框(1)的底部;转动盘(202),所述转动盘(202)的设置在电机(201)的输出端,所述转动盘(202)的表面开设有若干个活动槽(203);所述活动槽(203)内侧通过设置有滚珠(204)活动连接有连接杆(205);若干个移动承载模块(206),所述移动承载模块(206)与连接杆(205)固定连接;滑杆(207),所述滑杆(207)固定设置在外框(1)上,所述移动承载模块(206)内部通过开设滑孔与滑杆(207)连接。
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