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龙图腾网恭喜沈阳工业大学申请的专利一种旋转阴极磁场磁控溅射装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116145091B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211463711.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种旋转阴极磁场磁控溅射装置是由吴纯恩;安辉;陆艳君;孙丹;邓文宇;杨双;蒋立正;齐丽君;陈晓东;侯强;安跃军设计研发完成，并于2022-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种旋转阴极磁场磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种磁控溅射装置,尤其涉及一种旋转阴极磁场磁控溅射装置。包括靶材‑基体固定架、磁极旋转架和凸轮滑轨结构三个部分，靶材‑基体固定架是一个环形，内部一层安装待镀基体，外部一层安装靶材，且一一对应形成六个工作区，靶材‑基体固定架上端安装有加载电极，在靶材‑基体间形成稳定的电场，磁极旋转架通过滚动轴承和顶丝与靶材‑基体固定架同轴安装，并利用驱动皮带轮带动磁极旋转，凸轮滑轨结构是利用磁极上的凸轮柱在环形凸轮面上运动，使做旋转运动的磁极同时在滑轨上做上下直线运动，从而使均匀的磁场一直处于靶材的工作面上，从而提高靶材的利用率和溅射均匀度，改善了阴极磁场的质量，使基体表面沉积的薄膜质量更好。

本发明授权一种旋转阴极磁场磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转阴极磁场磁控溅射装置，包括靶材-基体固定架、磁极旋转架、磁极凸轮滑动机构、靶材和磁体冷却系统，几者均位于真空腔体内；其特征在于：靶材-基体固定架为环形，用于安装靶材和待镀基体；靶材外围放置有一冷却箱；磁极旋转架通过滚动轴承和顶丝与靶材-基体固定架同轴安装，并通过驱动皮带轮带动磁极旋转；凸轮滑轨结构通过磁极上的凸轮柱在环形凸轮面上运动，使做旋转运动的磁极同时在滑轨上做上下直线运动，且磁体运动区域外围有一个冷却箱；靶材-基体固定架内部安装待镀基体，外部安装靶材，且一一对应形成六个工作区，靶材-基体固定架上端安装有加载电极，用于在靶材-基体间形成稳定的电场，且靶材与基体能够通过真空腔体的上端开口进行更换；所述磁极凸轮滑动机构包括凸轮、凸轮柱、滑轨和滑块，其中，凸轮采用圆环，在其内部圆弧面设有凸轮轨迹，且凸轮通过凸轮安装孔固定在真空腔体上；凸轮柱固定于磁极组合的上方，与磁轭连接在一起，通过滑块与滑轨相连，滑轨固定在旋转架上，在磁体做圆周运动的同时，凸轮柱会在凸轮轨迹上运动，从而带动磁极组合通过滑块在滑轨上做上下直线运动，使永磁体配合磁轭产生的均匀磁场一直处于靶材的工作面上；靶材和磁体均安装有冷却装置，在靶材-基体固定架的外部，通过安装孔将靶材冷却箱安装在固定架上，冷却箱的进水管通过空心固定轴与外部连通，出水管通过空心旋转轴与外部连通，而磁体冷却箱位于磁体旋转运动的外围，通过安装孔安装在真空腔体上；磁体冷却箱的进、出水管均通过真空腔体的连接孔与外部相连。

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