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龙图腾网恭喜长春光华微电子设备工程中心有限公司申请的专利晶圆测试用旋转升降台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112103238B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011069405.2，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权晶圆测试用旋转升降台是由郑福志;田学光;高跃红;孙德举;王毓樟设计研发完成，并于2020-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆测试用旋转升降台在说明书摘要公布了：一种晶圆测试用旋转升降台，包括驱动机构、导向机构、转动机构、工作台，导向机构位于驱动机构上方，且导向机构通过丝杠组与驱动机构连接，驱动机构通过丝杠组带动导向机构沿主导向轴与副导向轴上下运动；工作台位于导向机构上方，工作台随着导向机构上下运动；在转动机构的驱动下，工作台可与轴套一同以轴承中心为圆心转动。本发明采用多丝杆传动，双导向轴导向的方法使得旋转升降台获得更高的竖直运动直线度且具有高定位精度的特点，同时实现对晶圆旋转的精确矫正，从而能够更好的完成晶圆测试工作。

本发明授权晶圆测试用旋转升降台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试用旋转升降台，其特征在于，包括：驱动机构（1）、导向机构（2）、转动机构（3）、工作台（4），所述导向机构（2）包括导向分支机构和旋转分支机构，所述导向分支机构与所述驱动机构（1）连接，所述旋转分支机构与所述转动机构（3）连接，所述工作台（4）与所述旋转分支机构连接，所述工作台（4）由所述驱动机构（1）驱动，在所述导向分支机构的导向下进行升降，并通过所述转动机构（3）与所述旋转分支机构的配合实现水平转动；所述驱动机构（1）包括底板（11）、丝杠组（12）、驱动电机（13）、驱动皮带（14）、同步带（15）；所述丝杠组（12）位于所述底板（11）的上方，并通过螺栓与所述底板（11）连接；所述驱动电机（13）位于所述底板（11）的上方，且所述驱动电机（13）与所述底板（11）通过螺栓连接；所述丝杠组（12）包括至少两个丝杆，各丝杆之间通过同步带（15）连接，其中的一个丝杆与所述驱动电机（13）通过所述驱动皮带（14）连接；所述导向分支机构包括基座（21）、主导向轴（22）、副导向轴（23），轴座（24）；所述主导向轴（22）位于所述轴座（24）的中部，并通过螺栓与所述轴座（24）连接；所述轴座（24）位于所述基座（21）的中部，并通过螺栓与所述基座（21）连接；所述副导向轴（23）位于所述基座（21）的侧方，并通过螺栓与所述基座（21）连接；所述旋转分支机构包括轴承（25）和轴套（26）；所述轴承（25）位于所述基座（21）的内部，所述轴承（25）的外圈与所述基座（21）过盈配合；所述轴套（26）位于所述轴承（25）的内部，并与所述轴承（25）的内圈过盈配合；所述工作台（4）通过所述轴套（26）与所述旋转分支机构连接；所述转动机构（3）包括：旋转电机（31）、底座（32）、转动丝杆（33）、两个随动轴承（34）、旋转驱动板（35）和两个限位块（36）；所述旋转电机（31）通过螺栓与所述底座（32）连接；所述底座（32）通过螺栓与所述基座（21）连接；转动丝杆（33）固定在上述底座（32）上；两个所述随动轴承（34）螺纹连在所述转动丝杆（33）上，对称分布在所述旋转驱动板（35）的两侧，将所述旋转驱动板（35）的一端夹紧；所述两个限位块（36）分别固定在所述底座（32）上，所述两个限位块之间形成限位通孔，所述旋转驱动板（35）的另一端穿过所述限位通孔与所述轴套（26）通过螺钉连接。

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