恭喜松下知识产权经营株式会社野野村胜获国家专利权
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龙图腾网恭喜松下知识产权经营株式会社申请的专利等离子体处理的异常判定系统以及异常判定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114467163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080068355.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理的异常判定系统以及异常判定方法是由野野村胜设计研发完成，并于2020-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理的异常判定系统以及异常判定方法在说明书摘要公布了：被公开的异常判定系统具备：等离子体处理装置，其能够基于制程一次处理多件工件；传感器，其取得与工件以及等离子体处理中的等离子体处理装置相关的至少一个监视数据；存储部，其存储根据包括工件的件数以及种类在内的第一处理方式而设定的阈值；以及判定部，其基于监视数据和阈值，判定等离子体处理是否存在异常。
本发明授权等离子体处理的异常判定系统以及异常判定方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理的异常判定系统，具备：等离子体处理装置，其能够基于制程一次处理多件工件；传感器，其取得与所述工件以及等离子体处理中的所述等离子体处理装置相关的至少一个监视数据；存储部，其存储根据包括所述工件的件数以及种类在内的第一处理方式而设定的阈值；以及判定部，其基于所述监视数据和所述阈值，判定所述等离子体处理中是否存在异常。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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