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龙图腾网恭喜北京锐洁机器人科技有限公司申请的专利一种提供氮气保护环境的晶圆盒装载装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119314916B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411835111.4，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种提供氮气保护环境的晶圆盒装载装置及其使用方法是由牛立群;安国栋;刘冬梅;王强;王勇设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种提供氮气保护环境的晶圆盒装载装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种提供氮气保护环境的晶圆盒装载装置及其使用方法，该晶圆盒装载装置由背板、电气控制模块、驱动模块、开盖模块、氮气保护腔室、定位组件、开锁组件、压盖组件、密封圈和密封包体组成。本申请通过设置氮气保护腔室，氮气保护腔室能够和背板之间形成保护腔体，并在压块、密封圈、密封包体、进排气组件和氮气气源的协同作用下，不仅能够有效提高氮气保护腔室和背板之间形成的保护腔体的密封性，还能够保障保护腔体内的氮气含量，使保护腔体达到洁净效果，以便为开盖后的晶圆片提供氮气保护环境，避免开盖后的晶圆片受到外部环境影响，从而提高安全性。

本发明授权一种提供氮气保护环境的晶圆盒装载装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种提供氮气保护环境的晶圆盒装载装置，其特征在于，包括背板，所述背板上开设有用于机械手操作的操作窗口，所述背板的前面下端设置有电气控制模块，所述电气控制模块的内部设置有驱动模块，所述驱动模块的输出端连接有开盖模块，所述开盖模块包括与驱动模块输出端连接且与背板前面滑动连接的升降罩体，所述驱动模块用于带动升降罩体进行竖向升降移动，所述升降罩体的内部设置有氮气保护腔室，所述氮气保护腔室靠近背板的一侧设置有开口，所述开口的尺寸与操作窗口的尺寸相匹配，在升降罩体进行垂直升降过程中，氮气保护腔室和背板之间形成保护腔体，所述升降罩体上设置有用于放置晶圆盒的装载平台，所述装载平台贯穿升降罩体且与升降罩体滑动连接，随升降罩体的竖向升降移动，氮气保护腔室用以收纳或远离装载平台，并对开盒后的晶圆片提供氮气保护，所述升降罩体上设置有挡板，随升降罩体的竖向升降移动，挡板用以远离或遮盖操作窗口，所述操作窗口的位置与装载平台的位置相对应，用于方便拿取开盖后的晶圆片，所述装载平台上设置有用于晶圆盒定位的定位组件以及用于使晶圆盒的盒盖和底座分离的开锁组件，所述升降罩体上设置用于压紧固定晶圆盒的盒盖的压盖组件以及设置于装载平台外侧四边的密封圈，随压盖组件的压紧固定，密封圈用以贴合盒盖的底部，并在氮气保护腔室收纳装载平台的过程中，对氮气保护腔室进行密封保护，所述升降罩体的下端设置有与氮气保护腔室相连通的进排气组件，所述驱动模块、开锁组件、压盖组件、进排气组件分别与电气控制模块电性连接；所述升降罩体与背板之间还设置有用以包围住开口的密封包体，所述密封包体设置于开口的内侧四边，用于增加氮气保护腔室和背板之间的密封性。

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