恭喜度亘核芯光电技术(苏州)有限公司佟金阳获国家专利权
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龙图腾网恭喜度亘核芯光电技术(苏州)有限公司申请的专利脊波导制备方法、脊波导以及激光器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119310679B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411824326.6，技术领域涉及：G02B6/136；该发明授权脊波导制备方法、脊波导以及激光器是由佟金阳;姚中辉设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本脊波导制备方法、脊波导以及激光器在说明书摘要公布了：本申请提供一种脊波导制备方法、脊波导以及激光器，属于半导体器件制备技术领域，所述方法包括：在脊波导的表面沉积绝缘层，并在所述绝缘层上涂覆光刻胶，其中，所述脊波导至少包括两段脊波导段；确定所述脊波导的分界线，并根据所述分界线确定刻蚀区域；分别对所述刻蚀区域内的光刻胶、绝缘层进行刻蚀，以在所述脊波导上得到电极窗口。本申请能够有效解决传统刻蚀工艺中，受脊波导脊宽变化影响而导致的刻蚀速率不一致的问题，确保了刻蚀过程的均匀性，进而减少了电化学腐蚀的风险，避免了空洞钻蚀的效果。
本发明授权脊波导制备方法、脊波导以及激光器在权利要求书中公布了：1.一种脊波导制备方法，其特征在于，所述方法包括：在脊波导的表面沉积绝缘层，并在所述绝缘层上涂覆光刻胶，其中，所述脊波导至少包括两段脊波导段；基于所述脊波导的脊宽的变化趋势，确定所述脊波导的脊宽渐变区域；确定所述脊宽渐变区域的脊宽的中值，并基于所述脊宽渐变区域的脊宽的中值，确定分界区域，所述脊宽的中值的数量至少为一个；在所述分界区域内确定分界线，所述分界线用于划分所述脊波导的刻蚀区域，所述刻蚀区域的数量至少为两个；根据所述分界线确定刻蚀区域；分别对所述刻蚀区域内的光刻胶、绝缘层进行刻蚀，以在所述脊波导上形成电极窗口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人度亘核芯光电技术(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号东北区32幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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