恭喜匠岭科技(上海)有限公司倪赛健获国家专利权
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龙图腾网恭喜匠岭科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119228735B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411164711.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备是由倪赛健;党江涛;王英设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备在说明书摘要公布了：在本说明书提供的一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备中，获取待检测晶圆的各晶粒图像中，并从中选取一张基准图像，将其他晶粒图像作为测试图像，通过不断同比例缩小基准图像与测试图像，得到基准图像和测试图像分别对应的图像金字塔，通过图像金字塔之间的图像匹配，确定测试图像与基准图像对齐的图像匹配位置，根据各测试图像的图像匹配位置，将各测试图像对齐并融合得到模板图像，基于模板图像对各晶粒图像进行缺陷检测。通过图像金字塔的图像匹配，确定测试图像的图像匹配位置，进而将各测试图像对齐并得到模板图像，成本低、效率高，且模板图像是基于实际生产中采集的各晶粒图像融合的无缺陷晶粒图像，提高了缺陷检测的准确性。
本发明授权一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测方法，其特征在于，包括：获取待检测晶圆的表面图像，其中，所述表面图像中包含若干晶粒的晶粒图像；从各晶粒图像中选择一张晶粒图像作为基准图像，将其它晶粒图像作为测试图像；通过不断同比例缩小所述基准图像与所述测试图像，得到所述基准图像的图像金字塔以及各测试图像的图像金字塔；针对每个测试图像，根据该测试图像的图像金字塔，以及所述基准图像的图像金字塔之间的图像匹配，确定出该测试图像中与所述基准图像对齐的图像匹配位置；根据各测试图像的图像匹配位置，将所述各测试图像对齐，并融合得到模板图像；根据所述模板图像对所述各晶粒图像逐一进行比对，以实现缺陷检测。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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