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龙图腾网恭喜苏州众芯联电子材料有限公司申请的专利一种用于氮化铝加热基座的电阻丝的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116013628B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211708468.7，技术领域涉及：H01C17/04；该发明授权一种用于氮化铝加热基座的电阻丝的制作方法是由赵凯;王洋;洪远周;张立祥设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于氮化铝加热基座的电阻丝的制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于氮化铝加热基座的电阻丝的制作方法，包括以下步骤：根据基座本体在使用过程中热量消散的情况，确定制成电阻丝的钼线的各项参数数值、电阻丝的排布方式以及排布成回旋形后各个回旋之间的间距；通过卷线机卷绕成符合电阻丝排布方式的螺旋形电阻丝；利用加工中心在陶瓷块上开设一个与电阻丝的排布方式完全一致的回旋形放置槽；将卷成的螺旋形的电阻丝塞入回旋形放置槽内；将陶瓷块以及塞入其内部的电阻丝放入保温箱中进行保温处理；将陶瓷块中的电阻丝取出，并埋至需要烧结的氮化铝毛坯中与氮化铝一起烧结，形成所需的氮化铝加热基座。本发明能够制作出分区排布的电阻丝，保证加热基座在使用过程中晶圆温度的均匀性。

本发明授权一种用于氮化铝加热基座的电阻丝的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种用于氮化铝加热基座的电阻丝的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：用模拟软件根据基座本体（2）在使用过程中热量消散的情况，确定制成电阻丝（1）的钼线的各项参数数值、电阻丝（1）的排布方式以及排布成回旋形后各个回旋之间的间距；步骤二：根据步骤一中的参数选取合适的钼线，并通过卷线机卷绕成符合电阻丝（1）排布方式的螺旋形电阻丝（1）；步骤三：取一块陶瓷块，利用加工中心在陶瓷块上开设一个与电阻丝（1）的排布方式完全一致的回旋形放置槽；步骤四：将步骤二中卷成的螺旋形的电阻丝（1）塞入步骤三中陶瓷块上开设的回旋形放置槽内；步骤五：将步骤四中的陶瓷块以及塞入其内部的电阻丝（1）放入保温箱中进行保温处理；步骤六：将陶瓷块中的电阻丝（1）取出，并埋至需要烧结的氮化铝毛坯中与氮化铝一起烧结，形成所需的氮化铝加热基座；步骤一中所需的电阻丝（1）的参数为：钼线的直径d、总长L和卷绕成螺旋形后的钼线外径D、长度I；步骤一中电阻丝（1）的排布区域（3）包括排布区域a（31）、排布区域b（32）以及排布区域c（33），长度分别为I1、I2以及I3，且区域内相邻螺旋之间的间距为P1、P2以及P3，排布成回旋形后各个回旋之间的间距为S；步骤二中钼线卷绕成的螺旋形沿其长度方向分为螺旋区域一（41）、螺旋区域二（42）、螺旋区域三（43）、螺旋区域四（44）以及螺旋区域五（45），螺旋区域一（41）与螺旋区域五（45）内相邻螺旋间的间距为P12，螺旋形区域长度为I12，螺旋区域三（43）内相邻螺旋间的间距为P32，长度为I3，其他区域内相邻螺旋间的间距为P22、长度为I22。

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