西安理工大学王凤娟获国家专利权
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龙图腾网获悉西安理工大学申请的专利基于TSV的平行线定向耦合器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116259946B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310261938.8,技术领域涉及:H01P5/18;该发明授权基于TSV的平行线定向耦合器是由王凤娟;李秀智;余宁梅;杨媛;朱樟明;尹湘坤设计研发完成,并于2023-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于TSV的平行线定向耦合器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于TSV的平行线定向耦合器,包括Si衬底,Si衬底内布设有两条由若干TSV组成的平行耦合线,Si衬底的上方设有上层SiO2,上层SiO2内掩埋有上层RDL,Si衬底的下方设有下层SiO2,下层SiO2内掩埋有下层RDL,上层RDL和下层RDL分别与TSV的上下两端连接;连接两条平行耦合线端部TSV的四个上层RDL上分别连接耦合器的输入端口、直通端口、耦合端口、隔离端口,输入端口与直通端口分别位于同一条耦合线的两端端部;耦合端口、隔离端口分别位于同一条耦合线的两端端部。本发明基于TSV技术来实现平行线定向耦合器的小型化,且耦合度较好。
本发明授权基于TSV的平行线定向耦合器在权利要求书中公布了:1.基于TSV的平行线定向耦合器,其特征在于:包括Si衬底(6),Si衬底(6)内布设有两条由若干TSV组成的平行耦合线,Si衬底(6)的上方设有上层SiO2(5),上层SiO2(5)内掩埋有上层RDL,Si衬底(6)的下方设有下层SiO2(7),下层SiO2(7)内掩埋有下层RDL,上层RDL和下层RDL分别与所述TSV的上下两端连接;连接两条平行耦合线端部TSV的四个上层RDL上分别连接耦合器的输入端口(1)、直通端口(2)、耦合端口(3)、隔离端口(4),输入端口(1)与直通端口(2)分别位于同一条耦合线的两端端部;耦合端口(3)、隔离端口(4)分别位于同一条耦合线的两端端部;每条所述耦合线上,各TSV等距依次排布,各TSV依次通过上层RDL和下层RLD进行首尾相接;两条所述平行耦合线上,TSV的数量及排布方式完全相同;所述输入端口(1)与耦合端口(3)位于Si衬底(6)的同一端,直通端口(2)与隔离端口(4)位于Si衬底(6)的同一端;所述上层RDL和下层RDL的材料均为金属铜。
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