恭喜南京大学庄喆获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京大学申请的专利一种PI辅助Micro-LED巨量转移方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119181750B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411679890.3,技术领域涉及:H10H29/03;该发明授权一种PI辅助Micro-LED巨量转移方法是由庄喆;桑艺萌;陶涛;刘斌设计研发完成,并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PI辅助Micro-LED巨量转移方法在说明书摘要公布了:发明公开了一种PI辅助Micro‑LED巨量转移方法,包括以下步骤:在衬底上制备Micro‑LED芯片;在第一基板表面设置结合层、UV解胶层;将第一基板与Micro‑LED芯片的n型电极和p型电极临时键合;将Micro‑LED芯片剥离至UV解胶层上;将Micro‑LED芯片表面形成PI固化膜;在第二基板表面设PI半固化膜,将PI固化膜与半固化膜键合,UV解胶层与Micro‑LED芯片分离,将Micro‑LED芯片转移到第二基板上;使Micro‑LED芯片转移到电路板上;去除PI固化膜和PI半固化膜。本发明能够满足巨量转移的大规模、高良率、低成本以及高速转移的需求,兼容各尺寸芯片转移。
本发明授权一种PI辅助Micro-LED巨量转移方法在权利要求书中公布了:1.一种PI辅助Micro-LED巨量转移方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一,在衬底(1)上制备Micro-LED芯片(2),所述Micro-LED芯片(2)的同侧表面设置n型电极(3)和p型电极(4);步骤二,在第一基板(7)表面设置结合层(6)、UV解胶层(5);步骤三,将第一基板(7)与Micro-LED芯片(2)的n型电极(3)和p型电极(4)通过UV解胶层(5)进行临时键合;步骤四,将Micro-LED芯片(2)剥离至UV解胶层(5)上,与衬底(1)分离;步骤五,将Micro-LED芯片(2)远离UV解胶层(5)的表面旋涂PI溶液,加热固化,形成PI固化膜(8);步骤六,在第二基板(10)表面设置PI半固化膜(9),将PI固化膜(8)与PI半固化膜(9)键合,经UV光照后粘性减弱的UV解胶层(5)与Micro-LED芯片(2)分离,将PI固化膜(8)连接的Micro-LED芯片(2)转移到基于PI半固化膜(9)的第二基板(10)上;步骤七,通过刻蚀选择性去除第二基板(10)上的PI固化膜(8)和PI半固化膜(9),在电路板(12)电极位置蒸镀键合金属(11),使第二基板(10)上的Micro-LED芯片(2)选择性转移到电路板(12)上,所述键合金属(11)与n型电极(3)、p型电极(4)加热键合;步骤八,去除Micro-LED芯片(2)上的PI固化膜(8)和PI半固化膜(9)。
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