中稀(广西)金源稀土新材料有限公司莫志林获国家专利权
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龙图腾网获悉中稀(广西)金源稀土新材料有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222809534U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420863909.9，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种磁控溅射镀膜托盘是由莫志林;雷军;罗昭伟;梁华智;周洋;谢觉设计研发完成，并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜托盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜托盘，包括底盘、固定盘和顶盘，所述固定盘两侧分别与顶盘连接，所述底盘与固定盘一侧的顶盘连接，所述底盘与固定盘和顶盘通过螺丝连接，底盘包括外圆和内圆A，所述外圆和内圆A通过连接杆A连接。本实用新型可通过在螺丝上设置不同数量的垫片来调整底盘、固定盘和顶盘之间的距离，进而适应不同尺寸的镀件；通过设置不同直径的外环，以适应不同厚度的镀件。托盘所用材料均为不锈钢材料，具有耐腐蚀，耐高温的优点，且连接杆连接内、外圆的设置减轻了托盘的重量，降低了制作成本。
本实用新型一种磁控溅射镀膜托盘在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜托盘，其特征在于：包括底盘1、固定盘2和顶盘3，所述固定盘2两侧分别与顶盘3连接，所述底盘1与固定盘2一侧的顶盘3连接，所述底盘1与固定盘2和顶盘3通过螺丝连接，底盘1包括外圆4和内圆A11，所述外圆4和内圆A11通过连接杆A5连接。
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