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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利导静电基板保持装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112786521B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911085486.2，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权导静电基板保持装置是由陶晓峰;贾社娜;韩阳;王晖设计研发完成，并于2019-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本导静电基板保持装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种导静电基板保持装置，包括：带动基板旋转的基板卡盘；带动基板卡盘旋转的中心转轴；包括第一导静电结构和第二导静电结构的导静电结构；通过轴承连接第二导静电结构的中空外壳，第二导静电结构电性连接轴承，轴承电性连接中空外壳；环绕第二导静电结构的密封壳体，其在中心转轴轴线方向上位于基板卡盘与轴承之间；密封壳体内壁设有第一环形密封齿，第二导静电结构外壁设有第二环形密封齿，其相互交错并隔离基板卡盘与轴承。本发明通过采用轴承作为旋转与非旋转部分过渡的导静电结构，使得旋转结构与导静电结构能够很好地兼容设置；交错设置的第一环形密封齿与第二环形密封齿还确保了轴承等部件中的润滑油不会污染作业中的晶圆。

本发明授权导静电基板保持装置在权利要求书中公布了：1.一种导静电基板保持装置，其特征在于，包括： 基板卡盘，用于固定并带动基板旋转； 中心转轴，所述中心转轴的一端连接所述基板卡盘，用于带动所述基板卡盘旋转； 导静电结构，所述导静电结构包括第一导静电结构和第二导静电结构，所述第一导静电结构用于电性连接所述基板与所述第二导静电结构，所述第二导静电结构环绕设置于所述中心转轴的外围并固定连接所述中心转轴的外壁； 中空外壳，所述中空外壳环绕设置于所述第二导静电结构的外围并通过轴承连接所述第二导静电结构，所述第二导静电结构电性连接所述轴承，所述轴承电性连接所述中空外壳； 密封壳体，所述密封壳体环绕设置于所述第二导静电结构的外围并固定连接所述中空外壳，且所述密封壳体在所述中心转轴轴线方向上位于所述基板卡盘与所述轴承之间； 所述密封壳体靠近所述中心转轴的内壁设有环绕所述中心转轴的第一环形密封齿，所述第二导静电结构远离所述中心转轴的外壁设有环绕所述中心转轴的第二环形密封齿，所述第一环形密封齿与所述第二环形密封齿在所述中心转轴轴线方向上相互交错并隔离所述基板卡盘与所述轴承。

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