恭喜东京毅力科创株式会社坂本贵浩获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利去除加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115279549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180021045.5，技术领域涉及：B24B55/06；该发明授权去除加工装置是由坂本贵浩;児玉宗久设计研发完成，并于2021-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本去除加工装置在说明书摘要公布了：去除加工装置具有台、多个卡盘、喷嘴以及台罩。所述台水平地配置，并以铅垂的旋转中心线为中心旋转。多个所述卡盘绕所述台的旋转中心线空开间隔地配置。所述喷嘴对由所述卡盘保持着的基板供给加工液。所述台罩在所述台的上方承接所述加工液。所述台罩具有越远离所述台的旋转中心线高度越低、且在所述台的旋转方向上高度一定的圆锥形状的倾斜部。
本发明授权去除加工装置在权利要求书中公布了：1.一种去除加工装置，其中，该去除加工装置包括：水平的台，其以铅垂的旋转中心线为中心旋转；多个卡盘，其绕所述台的旋转中心线空开间隔地配置；喷嘴，其对由所述卡盘保持着的基板供给加工液；台罩，其在所述台的上方承接所述加工液，其中，所述台罩包括越远离所述台的旋转中心线高度越低、且在所述台的旋转方向上高度一定的圆锥形状的倾斜部；卡盘罩，该卡盘罩从所述台罩的所述倾斜部向上方突出，在所述卡盘的周围承接所述加工液，其中，所述卡盘罩包括从所述台罩的倾斜部向上突出的筒部，在所述台罩的所述倾斜部形成有供所述筒部贯穿的孔；基座罩，其在所述台的上方且所述台罩的下方承接所述加工液；以及支架，其在所述台罩的所述倾斜部的下方载置所述卡盘罩的所述筒部，其中，所述支架突出设置在所述基座罩的上表面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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