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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利静电卡盘气孔清洗装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116174379B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310252072.4，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权静电卡盘气孔清洗装置及方法是由王印典;郝亮;胡海洋设计研发完成，并于2023-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本静电卡盘气孔清洗装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种静电卡盘气孔清洗装置及方法，装置包括：清洗架，清洗架顶部设有平台，平台上设有贯穿平台上下表面的开口；支撑环组件，与开口的边缘搭接配合，用于将不同尺寸的静电卡盘支撑在圆孔上方；加压冲洗装置，包括冲洗液供给端和冲洗管路，冲洗液供给端用于将冲洗溶液和去离子水以设定压力压入冲洗管路中，冲洗管路的一端与冲洗液供给端连接，冲洗管路的另一端与静电卡盘背面的进气孔连接。本发明能够实现提高静电卡盘气孔堵塞的清洗效果，提高等离子体刻蚀工艺的稳定性。

本发明授权静电卡盘气孔清洗装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘气孔清洗装置，所述气孔包括位于所述静电卡盘背面的进气孔和位于所述静电卡盘正面的多个出气孔，所述进气孔与各个所述出气孔连通，其特征在于，所述装置包括：清洗架，所述清洗架顶部设有平台，所述平台上设有贯穿所述平台上下表面的开口；支撑环，所述支撑环与所述开口的边缘搭接配合，用于将对应尺寸的静电卡盘正面朝上或背面朝上的支撑在所述开口上方；加压冲洗装置，所述加压冲洗装置包括冲洗液供给端和冲洗管路，所述冲洗液供给端用于分别将冲洗溶液和去离子水以设定压力压入所述冲洗管路中，所述冲洗管路的一端用于与所述冲洗液供给端连接，所述冲洗管路的另一端用于与所述静电卡盘背面的进气孔连接；检测工具，用于在所述静电卡盘正面朝下放置在所述支撑环上且向所述进气孔冲入液体时，测量各个所述出气孔的出水量；和或用于在所述静电卡盘正面朝上放置在所述支撑环上且向所述进气孔冲入液体时，测量各个所述出气孔的出水高度；所述清洗装置能够根据所述检测工具测量的任意两个出气孔的单位时间内出水量体积差；和或所述检测工具测量的所述出气孔的最高水柱与最低水柱的高度差，判断所述出气孔的清洗效果是否满足设定条件。

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