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龙图腾网恭喜上海广川科技有限公司申请的专利一种多兼容性的晶圆载具上料站、上料装置及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113990784B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111246252.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种多兼容性的晶圆载具上料站、上料装置及检测方法是由刘恩龙;张菊;董怀宝;张加峰;张贤龙;曹洁;中岛隆志;川辺哲也;杨琦;武一鸣;马刚;董阳;李莹莹;乐佳浩设计研发完成，并于2021-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多兼容性的晶圆载具上料站、上料装置及检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多兼容性的晶圆载具上料站，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M‑1个发射端传感器、2M‑1个接收端传感器和M个后基准块；所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方，所述发射端传感器包括1个基准发射端传感器和2M‑2个侧边发射端传感器，所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央，所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧。本发明提供的一种多兼容性的晶圆载具上料站、上料装置及检测方法，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题。

本发明授权一种多兼容性的晶圆载具上料站、上料装置及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种多兼容性的晶圆载具上料站，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；其特征在于，包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M-1个发射端传感器、2M-1个接收端传感器和M个后基准块；所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方，用于固定晶圆载具的前方位置，所述载具前挡板包含M个卡槽；所述载具安装板上方设有突出检测板，所述载具安装板及突出检测板上分别对应布设有传感器调整块，所述发射端传感器及接收端传感器，分别成对固定在载具安装板及突出检测板的传感器调整块上，且所述接收端与发射端传感器在连线方向上一一对应，允许上下同轴多向移动调节检测的距离阈值；所述发射端传感器包括基准发射端传感器和侧边发射端传感器，所述基准发射端传感器位于载具安装板前端中央的传感器调整块上，所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器两侧的传感器调整块上；所述M个后基准块位于所述载具安装板的正后方，分别用于固定对应晶圆载具的后方位置，且M个后基准块距离载具前挡板的距离均不相同。

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