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恭喜松山湖材料实验室;中国科学院物理研究所陈汉阳获国家专利权

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龙图腾网恭喜松山湖材料实验室;中国科学院物理研究所申请的专利加热装置及材料热处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114203601B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111672342.4,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权加热装置及材料热处理方法是由陈汉阳;杨蓉;许智;张广宇设计研发完成,并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

加热装置及材料热处理方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种加热装置及材料热处理方法,属于热处理设备领域。加热装置含加热台主体和盖板组件。加热台主体含安装座和导热块。安装座内有加热台空腔,顶部有与加热台空腔连通的通气通道,外有第一、二加热台接头。导热块安装于安装座,其顶部位于安装座顶部。导热块内设贯穿导热块顶部的第一通道,第一通道另一端与第一加热台接头之间设连接管道。盖板组件盖设于安装座的顶部时和安装座的顶部之间具有第一盖板空腔,通气通道及第一通道均与第一盖板空腔连通;盖板组件外有连通第一盖板空腔的第一盖板接头。材料热处理方法采用加热装置进行加热和退火处理,能降低样品完成转移后且退火处理前接触空气毁坏的风险。

本发明授权加热装置及材料热处理方法在权利要求书中公布了:1.一种加热装置,其特征在于,包括:加热台主体,包括安装座和导热块;所述安装座内部具有加热台空腔,所述安装座的顶部具有与所述加热台空腔连通的通气通道;所述安装座外侧设有与加热台空腔连通的第一加热台接头和第二加热台接头;所述导热块安装于所述安装座,且所述导热块的顶部位于所述安装座的顶部;所述导热块内开设第一通道,所述第一通道的一端贯穿所述导热块的顶部端面,所述第一通道的另一端与所述第一加热台接头之间连接有连接管道;盖板组件,盖设于所述安装座的顶部时,和所述安装座的顶部之间具有第一盖板空腔;所述通气通道及所述第一通道均与所述第一盖板空腔连通;所述盖板组件外侧设有连通所述第一盖板空腔的第一盖板接头;所述盖板组件内部还具有第二盖板空腔,外侧还设有连通所述第二盖板空腔的第二盖板接头;所述第二盖板空腔位于所述第一盖板空腔外侧,且所述盖板组件的底部开设有与所述第二盖板空腔连通的第二通道;所述盖板组件盖设于所述安装座的顶部时,所述第二通道与所述安装座的顶部对应,且所述安装座的顶部将所述第一盖板空腔和所述第二盖板空腔隔开;所述盖板组件的顶部具有与所述第一盖板空腔连通的安装通孔,所述安装通孔的周向上环设有安装台阶;所述盖板组件的底部设置有环状凸起;所述环状凸起开设有连接通道,用于连通所述环状凸起的内侧和外侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人松山湖材料实验室;中国科学院物理研究所,其通讯地址为:523808 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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