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龙图腾网恭喜安徽芯宇驰半导体科技有限公司申请的专利一种闪存晶片自动化生产工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119601461B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411689801.3，技术领域涉及：H01L21/268；该发明授权一种闪存晶片自动化生产工艺是由刘申;邓正绍设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种闪存晶片自动化生产工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及闪存晶片技术领域，具体为一种闪存晶片自动化生产工艺，包括以下步骤：A、将待切割的晶圆放置在晶圆激光切割机的专用切割台上，并将晶圆固定，确保晶圆在切割过程中不会发生位移；B、对晶圆进行扫描，确定切割范围，将切割头移动到晶圆中心点处，为切割起点；C、规划切割路径，启动晶圆激光切割器，控制切割头按预定的切割路径移动；D、切割头从中心向外圈移动进行切割，使切割头在到达晶圆边缘前停止，以保证切割后的边角料连为一体，继而，切割头通过转换移动方向再继续移动，本发明的目的在于解决需要在拾取闪存晶片时，需要区分废料，避开废料进行拾取，导致拾取过程较为复杂的问题。

本发明授权一种闪存晶片自动化生产工艺在权利要求书中公布了：1.一种闪存晶片自动化生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：A、将待切割的晶圆放置在晶圆激光切割机的专用切割台上，并将晶圆固定，确保晶圆在切割过程中不会发生位移；B、对晶圆进行扫描，确定切割范围，将切割头移动到晶圆中心点处，为切割起点；C、规划切割路径，启动晶圆激光切割器，控制切割头按预定的切割路径移动；D、切割头从中心向外圈移动进行切割，使切割头在到达晶圆边缘前停止，以保证切割后的边角料连为一体，继而，切割头通过转换移动方向再继续移动，切割完成后得到边角料和多个闪存晶片；E、拾取边角料丢弃到废料收集槽中，将多个闪存晶片向下一个工序进行转移；在步骤C中，所述切割头的表面安装有喷射冷却组件，切割头按预定的切割路径移动的同时，控制喷射冷却组件喷射冷却介质，对切割后的区域进行冷却；在步骤D中，切割头转换移动方向时，将喷射冷却组件的喷射口转移到切割头移动轨迹的后方；晶圆激光切割机的运动控制组件与切割头之间设置轨道限位组件，所述轨道限位组件包括纵轨与横轨，所述纵轨与横轨的两端均设置可水平移动的限位板，切割头在移动碰到限位板时，会停止继续移动，每个所述限位板均具有数据传输处理模块，数据传输处理模块接收来自扫描晶圆后确定的切割范围信息，然后根据切割范围信息，控制限位板移动到切割范围的边线处，并处于边线外侧；晶圆上预设有横向割道与纵向割道，切割头从横向割道的中心处开始，向左移动预热切割横向割道的左半段，然后转向向右移动完整切割横向割道的左半段，当切割头向右移动到横向割道的中心处时，再转换成预热切割，预热切割横向割道的右半段，然后转向向左，并转换进行完整切割横向割道的右半段，最终移回横向割道的中心处。

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