上海邦芯半导体科技有限公司徐昕获国家专利权
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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利半导体设备的控制方法和半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120184064B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510644662.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体设备的控制方法和半导体设备是由徐昕;王兆祥;桂智谦;涂乐义;梁洁;仲凯;方子豪;曹天俊;谭小龙设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备的控制方法和半导体设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种半导体设备的控制方法和半导体设备。半导体设备的控制方法包括在输气管路内两种工艺气体的气体切换间期执行的吹扫步骤，吹扫步骤包括：控制模块控制吹扫气体控制件使输气管路通入和排出吹扫气体以进行初始吹扫操作后，气体检测装置检测输气管路内的气体浓度信息并发送给控制模块，控制模块根据气体浓度信息判断是否进行延时吹扫操作，直至使输气管路内的气体浓度不超过预设气体浓度阈值；控制模块根据第N轮循环的初始吹扫操作的吹扫参数和延时吹扫操作的吹扫参数获得第N+1轮循环的初始吹扫操作的初始吹扫参数。本申请对每轮循环的初始吹扫操作实现了实时自适应调节，且有效减少或避免了工艺气体的交叉污染。
本发明授权半导体设备的控制方法和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的控制方法，其特征在于，所述半导体设备包括与半导体处理腔体连通的输气管路和控制模块，所述输气管路设有气体检测装置和吹扫气体控制件； 所述控制方法包括在所述输气管路内两种工艺气体的气体切换间期执行的吹扫步骤，其中所述吹扫步骤包括： 所述控制模块控制所述吹扫气体控制件使所述输气管路通入和排出吹扫气体以进行初始吹扫操作后，所述气体检测装置检测所述输气管路内的气体浓度信息并发送给所述控制模块，所述控制模块根据所述气体浓度信息判断是否进行延时吹扫操作，直至使所述输气管路内的气体浓度不超过预设气体浓度阈值； 所述控制模块根据第N轮循环的所述初始吹扫操作的吹扫参数和所述延时吹扫操作的吹扫参数获得第N+1轮循环的所述初始吹扫操作的初始吹扫参数，所述N为大于或等于1的正整数。
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