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申请/专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日：2004-03-20
公开（公告）日：2005-09-21
公开（公告）号：CN1670244A
专利技术分类：..仅沉积碳[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种气体混合配制系统，特别涉及一种用于化学气相沉积法生长碳纳米管的气体配制系统。本发明所提供的气体配制系统包括多个气体源，其可分别提供不同气体；多个气体流量计，其分别通过导气管与各气体源相连，以控制各气体的流量；一气体混合腔，通过导气管与该多个气体流量计相连通；以及一气体分析仪，通过导气管与气体混合腔相连，其可测得气体混合腔内混合气体各组分的浓度；其中，各气体源提供的气体经由导气管，通过气体流量计进入混合腔混合均匀，再通过气体分析仪检测混合腔内混合气体的组分浓度，调节气体流量计，可将混合气体的组分浓度控制在预定范围内。另外，本发明还提供采用上述气体配制装置的气体配制方法。
专利权项：1.一种气体配制系统，其包括多个气体源和多个气体流量计，该多个气体源可分别提供不同气体，该多个气体流量计分别通过导气管与各气体源相连，以控制各气体的流量；其特征在于：该气体配制系统还包括一气体混合腔及一气体分析仪；该气体混合腔通过导气管与上述多个气体流量计相连通，该气体分析仪可测得气体混合腔内混合气体各组分的浓度，其通过导气管与气体混合腔相连通。
百度查询： 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 鸿海精密工业股份有限公司 气体配制系统及其气体配制方法
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