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申请/专利权人：中国科学院上海原子核研究所
申请日：2002-01-11
公开（公告）日：2005-08-31
公开（公告）号：CN1217153C
专利技术分类：.用于计量轮廓或曲率[2006.01]
专利摘要：一种长程面形仪，它主要由半导体激光器、光纤、位相板、第一反射镜、分光镜、五角棱镜、第二反射镜、傅立叶透镜、面阵CCD和参考反射镜组成，半导体激光器发出的激光束经光纤准直投射至一块位相板上，其衍射光束由第一反射镜折转形成基准光束被分光镜分为两路：一路经五角棱镜折转90°投射至被测表面，被反射回来的探测光束再经五角棱镜、分光镜、第二反射镜投射至傅立叶变换透镜，从而在位于FT透镜后焦面的面阵CCD上形成测量光斑，另一路基准光束经由参考反射镜、第二反射镜直接射至傅立叶透镜，并在面阵CCD上形成参考光斑。
专利权项：1.一种长程面形仪，其特征在于它采用了一种基于衍射准直的平场透镜系统，主要由半导体激光器1、光纤2、位相板3、第一反射镜RP1、分光镜BS、五角棱镜PP、第二反射镜RP2、傅立叶透镜FT、面阵CCD和参考反射镜RP组成，其光束的运动过程是：半导体激光器1发出的激光束经光纤2准直投射至一块位相板3上，其衍射光束由第一反射镜RP1折转形成基准光束被分光镜BS分为两路：一路经五角棱镜PP折转90°投射至被测表面，被反射回来的探测光束再经五角棱镜PP、分光镜BS、第二反射镜RP2投射至傅立叶变换透镜FT，从而在位于FT透镜后焦面的面阵CCD上形成测量光斑，另一路基准光束经由参考反射镜RP、第二反射镜RP2直接射至傅立叶透镜FT，并在面阵CCD上形成参考光斑。
百度查询： 中国科学院上海原子核研究所 长程面形仪
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