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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日：2020-12-30
公开（公告）日：2021-04-30
公开（公告）号：CN112731619A
专利技术分类：...带有反光镜表面形状调整装置的[2021.01]
专利摘要：本发明公开了一种面形补偿系统，包括支撑板，所述支撑板上安装有沿径向分布的内密封圈和外密封圈，内密封圈和外密封圈均凸出于支撑板的表面，支撑板在对应内密封圈限定的区域内设有内气孔，在对应内密封圈与外密封圈限定的区域内设有外气孔，所述内气孔通过第一气管连接有第一真空发生器或进气阀门，支撑板在对应内密封圈限定的区域内连接有真空计，所述外气孔通过第二管道连接有第二真空发生器。本发明的有益效果是：通过利用内外气压压差，以内密封圈为支点形成弯矩，实现了元件因重力或其它外力导致的面形形变的补偿。
专利权项：1.一种面形补偿系统，其特征在于：包括支撑板1，所述支撑板1上安装有沿径向分布的内密封圈2和外密封圈3，内密封圈2和外密封圈3均凸出于支撑板1的表面，支撑板1在内密封圈2内侧设有内气孔1a，在内密封圈2与外密封圈3之间的区域设有外气孔1b，所述内气孔1a通过第一气管4连接有第一真空发生器5和或进气阀门6，支撑板1在对应内密封圈2限定的区域内连接有真空计7，所述外气孔1b通过第二管道8连接有第二真空发生器9。
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 面形补偿系统
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