龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日：2016-11-01
公开（公告）日：2017-04-26
公开（公告）号：CN206134664U
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本实用新型提供一种晶圆托盘，适于放置晶圆，包括托盘底部和托盘壁，至少所述托盘壁与所述晶圆边缘接触的部分为坡面。本实用新型的晶圆托盘不仅克服了晶圆易滑落，甚至造成晶圆碎裂的问题，而且解决了对晶圆进行测试时，由于晶圆与不洁净的表面接触而造成的较为严重的污染，从而导致分析结果异常，只能对其中一面进行分析的问题。
专利权项：一种晶圆托盘，适于放置晶圆，包括托盘底部和托盘壁，其特征在于，至少所述托盘壁与所述晶圆边缘接触的部分为坡面。
百度查询： 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 晶圆托盘及晶圆支架
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号