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晶砣粘结装置和晶砣粘结方法专利

发布时间:2018-12-04 15:02:00 来源:龙图腾网 导航: 龙图腾网> 最新专利技术> 晶砣粘结装置和晶砣粘结方法

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申请/专利权人:济源石晶光电频率技术有限公司

申请日:2017-05-11

公开(公告)日:2017-09-15

公开(公告)号:CN107160574A

专利技术分类:

专利摘要:本发明提供一种晶砣粘结装置,包括渗蜡槽和设置在所述渗蜡槽中的隔板和多个晶砣定位块,多个所述晶砣定位块沿所述渗蜡槽的长度方向排列且所述晶砣定位块的一端设置在所述隔板的侧面上。该装置结构简单、使用方便,特别适合大尺寸石英晶片之间的渗蜡处理。本发明还提供一种利用上述装置进行晶砣粘结的方法,其步骤包括:首先采用所述晶砣粘结装置对粘结蜡进行融化处理,然后将待渗蜡晶砣置于晶砣粘结装置中依次进行常压预渗蜡处理和真空渗蜡处理,得到晶砣渗蜡半成品;最后对所述晶砣渗蜡半成品依次进行加热和定型处理,得到渗蜡晶砣成品。该方法步骤简单、能有效减少相邻石英晶片之间的空气残留。

专利权项:一种晶砣粘结装置,其特征在于:它包括渗蜡槽和设置在所述渗蜡槽中的隔板及多个晶砣定位块,多个所述晶砣定位块沿所述渗蜡槽的长度方向排列且所述晶砣定位块的一端固定在所述隔板的侧面上。

百度查询: 济源石晶光电频率技术有限公司 晶砣粘结装置和晶砣粘结方法

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