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申请/专利权人：佳升科技有限公司
申请日：2017-02-15
公开（公告）日：2018-08-21
公开（公告）号：CN108428614A
专利技术分类：.半导体器件或其部件的制造或处理[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种去毛边系统及去毛边方法，其包括：用于放置晶圆的对位平台，晶圆的边缘具有毛边；以及激光机，激光机设置在对位平台的一侧，激光机以投射角度投射激光线，其中，激光机投射激光线以移除毛边。操作时，将晶圆放置在对位平台，对位平台具有旋转结构，晶圆具有毛边；旋转结构带动晶圆旋转，通过对位装置确认晶圆边缘的偏移量是否相等；偏移量相等时，激光机以投射角度投射激光线并移除毛边。
专利权项：1.一种去毛边系统，其特征在于，包括：用于放置晶圆的对位平台，所述晶圆的边缘具有毛边；以及激光机，所述激光机设置在所述对位平台的一侧，所述激光机以投射角度投射激光线，所述激光机投射所述激光线以移除所述毛边。
百度查询： 佳升科技有限公司 去毛边系统及去毛边方法
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