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申请/专利权人：研创应用材料（赣州）有限公司
申请日：2013-04-24
公开（公告）日：2013-07-17
公开（公告）号：CN103205708A
专利技术分类：..氧化物（C23C14/10优先）[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种制备新型导电氧化铟靶材及氧化铟薄膜的方法，由添加第三种元素在本来的二元氧化物中，以提高电载子移动性来提高透光性及导电性，并首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关靶材，提高靶材均匀性及致密度，大幅降低溅镀过程中异常电弧的产生，延长靶材寿命及利用率，提高溅镀薄膜质量及性能，有效提高CIGS太阳能电池的效率，满足了生产的要求。
专利权项：一种制备新型导电氧化铟靶材及氧化铟薄膜的方法，其特征在于：下列物质的重量用重量份数表示：将100份氧化铟添加混合金属氧化物，再加68份的氧化锆球、30份的纯水及2份的分散剂,将以上物质研磨充分混合得到浆料，然后将浆料灌入三寸的多孔性模具中，干燥20‑28小时,脱膜形成胚体，再经1400‑1550度的高温烧结5.5‑6.5小时，形成溅镀用靶材胚体，经切割与表面研磨成三寸导电氧化铟靶材；将上述制得的导电氧化铟靶材先以DC电源溅镀第一层500nm厚的Mo薄膜，然后共蒸镀制造第二层2000nm厚的CIGS吸收层薄膜，接着以水浴法镀制第三层100nm 厚的CdS薄膜，然后以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10‑5‑0.9×10‑5 torr后，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为2×10‑3torr，用功率为250瓦的RF电源进行溅镀制程，制得薄膜厚度90‑110nm的透明导电氧化铟薄膜。
百度查询： 研创应用材料（赣州）有限公司 一种制备新型导电氧化铟靶材及氧化铟薄膜的方法
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