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申请/专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日：2015-11-04
公开（公告）日：2016-02-17
公开（公告）号：CN105331929A
专利技术分类：..氧化物（C23C14/10优先）[2006.01]
专利摘要：一种氧化铟锡镀膜方法，包括如下步骤：S110、将彩色滤光片置于安装有氧化铟锡靶材的磁控溅射真空腔内；S120、对所述真空腔内进行抽真空；S130、通入工作气体，并稳定3～30s；S140、对所述工作气体进行通电，并控制所述氧化铟锡靶材的表面磁场强度，在所述彩色滤光片上形成氧化铟锡镀膜；S150、停止通入所述工作气体及停止通电，取出氧化铟锡镀膜完成的彩色滤光片，准备待处理的下一彩色滤光片，继续执行步骤S110。上述氧化铟锡镀膜方法，可以保证真空腔的洁净度，避免杂质对镀膜过程的影响，从而有效解决彩色滤光片氧化铟锡镀膜后的电阻超标现象，提高镀膜良率。
专利权项：一种氧化铟锡镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：S110、将彩色滤光片置于安装有氧化铟锡靶材的磁控溅射真空腔内；S120、对所述真空腔内进行抽真空；S130、通入工作气体，并稳定3～30s；S140、对所述工作气体进行通电，并控制所述氧化铟锡靶材的表面磁场强度，在所述彩色滤光片上形成氧化铟锡镀膜；S150、停止通入所述工作气体及停止通电，取出氧化铟锡镀膜完成的彩色滤光片，准备待处理的下一彩色滤光片，继续执行步骤S110。
百度查询： 信利（惠州）智能显示有限公司 氧化铟锡镀膜方法
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