龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日：2014-12-07
公开（公告）日：2019-01-29
公开（公告）号：CN105739184B
专利技术分类：.....液晶分子的表面诱导取向，例如借助列向层[2006.01]
专利摘要：本发明提出了一种配向装置、配向系统及配向方法，采用空间光调制器的无掩模扫描投影曝光，能够避免掩模与基板之间产生摩擦，通过空间光调制器反射出多个不同角度的光线照射至基板上，能够在基板上实现同时在非扫描方向上多个互为反相的拼接，携带空间光调制器多个反相信息的不同入射角度的光线可同时照射到基底表面，形成不同的配向角度，即只需要一次扫描曝光，就可以完成配向膜配向，可以提高产率。
专利权项：1.一种配向装置，其特征在于，包括：光源、空间光调制器及成像单元，所述光源发出的光线入射至所述空间光调制器，所述空间光调制器将入射光线反射成两种角度的出射光线，分别通过所述成像单元照射至基板上，所述两种角度的出射光线在基板上所成的像互为反相且在基板非扫描方向上进行拼接，使得一次扫描曝光即可完成基板两个方向的配向；其中，所述空间光调制器为数字微镜阵列；在扫描方向上，相邻的微镜偏转角度一致；在与所述扫描方向垂直的非扫描方向上，相邻的微镜偏转角度不同。
百度查询： 上海微电子装备（集团）股份有限公司 配向装置、配向系统及配向方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号