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申请/专利权人:日本电热株式会社
申请日:2008-03-21
公开(公告)日:2012-02-08
公开(公告)号:CN101271832B
专利技术分类:
专利摘要:在按压板4的接合面上设置突起部8,并且,在传热板3的接合面的与突起部8相对置的位置上设置由榫槽形成的槽部9,将突起部8嵌入铆接至槽部9中,由此来接合传热板3和按压板4从而制造基座1。
专利权项:一种基座,是在金属制的第1板和第2板之间夹持基板加热装置或基板冷却装置而形成的基座,其特征在于,在上述第1板的接合面上设置有上表面上具有两个壁部与凹部的突起部,并且在上述第2板的接合面上以与上述突起部相对置的方式设置截面为T字状或倒梯形状的的槽部,将上述突起部嵌入上述槽部而施加压力进行铆接,上述突起部被上述槽部的底面压缩而塑性变形,同时使上述两个壁部扩开而紧贴上述槽部的内表面,由此将上述第1板和第2板接合。
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