龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：阿卜杜拉国王科技大学;法赫德国王石油矿产大学
申请日：2017-09-18
公开（公告）日：2019-07-16
公开（公告）号：CN110023537A
专利技术分类：..在反应室中支承基体的方法[2006.01]
专利摘要：一种基座装置，其用于化学气相沉积CVD反应器，包括在半导体工业中使用的金属有机CVDMOCVD。特别地，所述基座装置与感应加热一起使用，并且包括适于承载一个或多个晶片的水平板和垂直杆，感应加热线圈围绕垂直杆设置。还可以使用螺钉系统和绝热体。该设计有助于防止不希望的悬浮并且允许反应器的气体注入器位于更靠近晶片的位置以在高温沉积过程中在约1500℃或更高的基座表面温度下进行沉积。
专利权项：1.一种用于化学气相沉积CVD反应器的基座装置，其包括：至少一个水平板，所述水平板适于承载至少一个晶片；至少一个垂直杆，所述垂直杆与所述水平板集成并垂直于所述水平板；其中，所述基座装置适于感应加热。
百度查询： 阿卜杜拉国王科技大学 法赫德国王石油矿产大学 基座
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号