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申请/专利权人：菱电半导体系统工程株式会社;三菱电机株式会社
申请日：1997-11-24
公开（公告）日：1998-10-14
公开（公告）号：CN1195763A
专利技术分类：
专利摘要：本发明的目的是使IPA蒸汽的状态稳定,缓解甚至消除干燥不良现象。在设于处理槽11上方的开口部22两侧相对设置喷嘴13以及排气件14。处理槽11的侧壁随着从下方附近接近开口部22而向内侧圆滑弯曲。喷嘴13将氮气供给装置提供的氮气喷向排气件14的排气口,并形成覆盖开口部22的喷流21。由于处理槽11的侧壁弯曲,喷流21可有效发挥屏障的功能。所以,不再需要传统装置上必需的冷却蛇形管。因此,消除了因冷却蛇形管而引起的IPA蒸汽5状态的不稳定性。
专利权项：1.一种干燥装置，该干燥装置通过储存并加热水溶性的溶解液7，使从上述溶解液中产生的蒸汽5在处理对象3表面凝结来对该处理对象表面进行干燥，其特征在于：在该干燥装置上，设有在上面的规定向上开口的开口部22的且可储存溶解液的容器状处理槽11、可加热储存在上述处理槽内的上述溶解液的加热器10、以及在上述开口部两侧相对设置的喷嘴13及排气设备14；而上述排气设备规定排气口的开口朝向上述喷嘴；上述喷嘴由于受气体供给的影响而朝向上述排气口，并且，可产生覆盖上述开口部的上述气体的喷流21；上述排气设备可将通过上述排气口吸进的上述气体排向外部；上述处理槽，设有随着从下方接近上述开口部而向内侧圆滑弯曲的侧壁。
百度查询： 菱电半导体系统工程株式会社 三菱电机株式会社 干燥装置以及干燥方法
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