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申请/专利权人:国际商业机器公司
申请日:2010-09-13
公开(公告)日:2012-07-04
公开(公告)号:CN102549734A
专利技术分类:.在制造或处理过程中的测试或测量[2006.01]
专利摘要:提供了一种装置,所述装置包括:热隔离的待测器件,第一和第二电压被顺序施加到该热隔离的待测器件;局部加热元件,用于在分别顺序施加所述第一和第二电压期间基本同时地将第一和第二温度传递给所述待测器件;以及温度感测单元,用于测量所述待测器件的温度。
专利权项:一种装置,包括:热隔离的待测器件,第一和第二电压被顺序施加到该热隔离的待测器件;局部加热元件,用于在分别顺序施加所述第一和第二电压期间基本同时地将第一和第二温度传递给所述待测器件;以及温度感测单元,用于测量所述待测器件的温度。
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