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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2010-09-30
公开（公告）日：2014-02-26
公开（公告）号：CN102575347B
专利技术分类：..向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法[2006.01]
专利摘要：提供一种成膜装置，该成膜装置能够进行期望条件下的有机成膜材料和无机成膜材料的共蒸镀。该成膜装置具备：收纳被处理基板G的处理室；设置于处理室的外部的产生有机成膜材料的蒸气的蒸气产生部；有机成膜材料供给部22，其设置于处理室的内部，将在蒸气产生部产生的有机成膜材料的蒸气喷出；无机成膜材料供给部24，其设置于处理室的内部，喷出无机成膜材料的蒸气；和混合室23，其将从有机成膜材料供给部22喷出的有机成膜材料的蒸气与从无机成膜材料供给部24喷出的无机成膜材料的蒸气混合，混合室23具备使有机成膜材料和无机成膜材料的混合蒸气通过、向被处理基板G供给的开口部23c。
专利权项：一种成膜装置，具备：收纳被处理基板的处理室；设置于该处理室的外部的产生有机成膜材料的蒸气的蒸气产生部；和有机成膜材料供给部，其将由该蒸气产生部产生的有机成膜材料的蒸气向该被处理基板喷出，其特征在于：具备将无机成膜材料的蒸气向所述被处理基板喷出的无机成膜材料供给部，所述有机成膜材料供给部和无机成膜材料供给部，以所述有机成膜材料和无机成膜材料的被喷出部位在所述被处理基板上重复的方式配置，具备混合室，其使从所述有机成膜材料供给部喷出的有机成膜材料的蒸气和从所述无机成膜材料供给部喷出的无机成膜材料的蒸气混合，所述混合室具有使有机成膜材料和无机成膜材料的混合蒸气通过并向所述被处理基板供给的开口部。
百度查询： 东京毅力科创株式会社 成膜装置、成膜头和成膜方法
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