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申请/专利权人:拓秀有限会社
申请日:2016-01-11
公开(公告)日:2019-06-14
公开(公告)号:CN106563667B
专利技术分类:.用喷气力来清洁,如吹清凹处[2006.01]
专利摘要:提供一种除尘喷嘴,能够集中且高效率地对电子元件中要求特别高的洁净度的传感器等小面积的部分进行清洁。在由气体对局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部的电子元件进行清洁的除尘喷嘴中,具备用于使气体朝向要除尘小面部的轮廓(L)内喷出的气体喷出孔(3),和以包围气体喷出孔(3)状地配设并由要除尘小面部的上述轮廓的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔(4)。
专利权项:1.一种除尘喷嘴,由气体对局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部(2)的电子元件(6)进行清洁,其特征在于,具备用于使气体朝向上述要除尘小面部(2)的轮廓(L)内喷出的气体喷出孔(3),和以包围上述气体喷出孔(3)状地配设并由上述要除尘小面部(2)的上述轮廓(L)的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔(4),在上述电子元件(6)上沿着上述要除尘小面部(2)的上述轮廓(L)的外方的部分或遍及整周地配设有极细配线(8),不使气体直接喷到上述极细配线(8)地瞄准上述要除尘小面部(2)从上述气体喷出孔(3)喷出气体。
百度查询: 拓秀有限会社 除尘喷嘴以及除尘装置
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