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申请/专利权人：株式会社村田制作所
申请日：2018-02-26
公开（公告）日：2020-01-31
公开（公告）号：CN110741550A
专利技术分类：...用于取得所需要的频率或温度系数[2006.01]
专利摘要：本发明提供更简便且高精度的频率调整方法。是具备具有根据施加给电极的电压进行振动的振动部的谐振器的谐振装置的制造方法，包含：在振动部中的与其它的区域相比由振动引起的位移较大的区域形成由氧化钼构成的调整膜的工序；以及通过激光除去调整膜中至少一部分来调整上述谐振器的频率的工序。
专利权项：1.一种谐振装置的制造方法，该谐振装置具备谐振器，该谐振器具有根据施加给电极的电压进行振动的振动部，上述谐振装置的制造方法包含：在上述振动部中的与其它的区域相比由振动引起的位移较大的区域形成由氧化钼构成的调整膜的工序；以及通过激光除去上述调整膜中至少一部分来调整上述谐振器的频率的工序。
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