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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种气体集成块，包括气体集成块本体，所述气体集成块本体内形成有气体通道，所述气体通道具有工艺气体入口，且所述工艺气体入口形成于所述气体集成块本体的第一表面上，其中，所述气体集成块还包括封口组件，用于在气体集成块本体的第一表面暴露于大气时，对所述工艺气体入口进行自动封堵。本发明还提供一种半导体加工设备。当腔体盖打开时，所述气体集成块能够自动封闭所述工艺气体入口。
主权项：1.一种气体集成块，包括气体集成块本体，所述气体集成块本体内形成有气体通道，所述气体通道具有工艺气体入口，且所述工艺气体入口形成于所述气体集成块本体的第一表面上，其特征在于，所述气体集成块还包括封口组件，用于在气体集成块本体的第一表面暴露于大气时，对所述工艺气体入口进行自动封堵。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 气体集成块和半导体加工设备
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