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申请/专利权人：江西科泰新材料有限公司
申请日：2020-08-28
公开（公告）日：2020-11-20
公开（公告）号：CN111962021A
专利技术分类：.以镀层材料为特征的（C23C14/04优先）[2006.01]
专利摘要：本发明公开一种氮化铝掺氮化钪镀膜材料，具体地说，氮化铝掺氮化钪镀膜材料包括氮化铝掺氮化钪靶材和氮化铝掺氮化钪蒸发镀膜材料，其化学表达式为：ScNxAlN1‑x,其中0.02≤x≤0.8,其纯度大于等于98%且小于99.99%。该材料用于制备氮化铝掺氮化钪薄膜及相关器件。
专利权项：1.一种氮化铝掺氮化钪镀膜材料，其特征在于：包括氮化铝掺氮化钪靶材和氮化铝掺氮化钪蒸发镀膜材料，其化学表达式为：ScNxAlN1-x,其中0.02≤x≤0.8,其纯度大于等于98%且小于99.99%，该材料用于制备氮化铝掺氮化钪薄膜及相关器件。
百度查询： 江西科泰新材料有限公司 氮化铝掺氮化钪镀膜材料
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