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申请/专利权人：株式会社安川电机
申请日：2021-05-20
公开（公告）日：2021-11-30
公开（公告）号：CN113715033A
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供搬运装置、搬运方法以及搬运系统，提高基板的搬运效率。搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于搬运室的室内,是相对于第二处理室组搬运基板的机器人，所述第二处理室组是在与第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与第一机器人以及第二机器人进行基板的交接，在第一机器人与第二机器人之间沿着在处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
专利权项：1.一种搬运装置，其特征在于，所述搬运装置具有：第一机器人，其固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；第二机器人，其固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；以及移动式缓冲器，其能够与所述第一机器人和所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人和所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。
百度查询： 株式会社安川电机 搬运装置、搬运方法以及搬运系统
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